7寸扩晶机说明

一,   机器用途：

JT-220KJ-7型晶片扩张机（扩片机）被广泛应用与发光二极管、中小型功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。

一，      机器特点：

①采用双气缸上下控制；

②恒温设计，膜片周边扩张均匀适度；

③加热，拉伸，扩晶，固膜一次完成；

④加热温度，扩张时间，回程速度均匀可调；

⑤操作简便，单班产量大；

⑥机器外型见实物。

整机采用高品质零部件，所用加工部件都使用高强度铝合金及304不锈钢制造，确保设备的耐久性；温度控制器件采用原装宇电数显PID人工智能温控仪。 

二，      技术参数：

1，             电源电压：220VAC（50Hz)士10%；

2，             功率：500W

3，             工作气压：4-6Kg/cm2:；

4，             温度范围：室温~350℃；

5，             上气缸行程： 50/275mm；

6，             下气缸行程：63/100mm（可双向调节）；

7，             加热圆盘直径：  196mm

8，             外型尺寸：长500x宽350 x高1150,单位mm

9，             机器重量：30Kg

三，      操作步骤：

1，将气压表拧入设备左侧过滤器螺孔中。插上电源，气管快速接头接上高压气管；2，打开电源开关，将温度设定于75℃（不同晶片膜温差异士5℃）；3，将上气缸开关拨至“上升”位置，上压模回至最上方，将下气缸开关拨至下降位置，下压模回至最下方（反复几次下气缸动作，将上升速度调整至适合速度）4，松开锁扣，掀起上工件板，先将扩晶

环内环放于下压模上，再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，将上工件板盖上，锁紧锁扣。5，将下气缸开关拨至“上升”位置，下压模徐徐上升，薄膜开始向四周扩散，晶粒间隔逐渐拉大，当晶片间隔扩散至原来的2~3倍时既停止上升，将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。6，将上气缸开关拨至“下降”位置，上压模下降，将扩散后的翻晶膜套紧定位，上压模回至最上方。7，将下气缸开关拨至“下降”位置，下压模下降至最下方，取出扩晶完毕的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序备胶固晶。